Die meisten Arten von Wafern erfordern ein individuelles KOH/IPA Rezept. So kommt es in vielen Fällen zu einem unstabilen Texturierungsprozess. Mit
GP AlkaTex Plus lassen sich die benötigten Rezepte zu einem Basisrezept mit einem geringen Einstellungsbedarf reduzieren.

• Großes Prozessfenster, hohe Reproduzierbarkeit und Stabilität
• Reduzierung von Rezepten zu einem Basisrezept mit geringem Einstellungsbedarf
• Einheitliche Anordnung der Pyramiden (Kantenlänge 2-5 μm, im Prozess einstellbar)
• Durchschnittliche Reflexion von 10,5 - 11,8% (400 – 1100 nm)
• Verringerung der Prozesszeit (bis 20 min)
• Steigende Badlebensdauer bis zu 10.000 Wafer und mehr
• Verbesserte Cost-of-Ownership
• Effizienzsteigerung, Steigerung des optischen Yield und Verbesserung der Textur-Homogenität