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4-TEST
离线特性分析系统,用于测定方块电阻和详细的接触电阻率及
线路电阻率
概況

现状

四点探针测量可测定方块电阻,是一种应用于微电子、半导 体和光伏产业的通用工具。最初,它被用于测定扩散发射器 的方块电阻,在硅片厚度已知的情况下,几乎所有市售的四 点探针都能准确地测定比电阻率。一方面,比电阻率可用于 来料质量取样,另一方面,扩散后对方块电阻的常规测量则 可用于识别扩散过程中出现的问题。通过将 4 点测量系统应 用于其他样品类型,我们便能够根据基础的 4 点测量进一步 确定出一系列参数。应用实例包括基于传输长度方法 (TLM) 的线路电阻测量以及接触电阻测量。在检测和优化丝网印刷 和烧制工艺时,这两种电阻的数据都极其重要:线路电阻反 映了细栅或主栅的电导质量,而接触电阻可判断与硅的接触 是否已经在烧制过程中形成。

描述

4-TEST .Pro 是一种四点探针工具,能够可靠地测定所有类 型的电阻,并且有多种探头能够适用于太阳能电池加工的所 有典型应用,这些应用包括方块电阻、比电阻、线路电阻和 接触电阻。对于生产线中的薄膜电阻控制,可使用选配的 5 折固定器,自动与 5 个点接触。传感头内的所有探头均通 过弹簧独立地安装。测定薄膜电阻和比电阻时,可使用镀铑 的探头。

也可使用碳化钨制成的探头,这是一种全新的方式。这些探 头尤其能使低掺杂材料更好地接触,并能减少磨损。在测 定喷镀金属后的电阻(细栅和接触电阻)时,均使用镀铑探 头。必要时,也可使用其他供应商提供的探头。方块电阻的 测量原理是著名的利用等距探头进行薄层四点探测理论。一 种用于测定硅片厚度的类似模型也被用于测量电阻率。测定 线路电阻时,四个探头与一个细栅接触,内部探头的距离为 30、40 或者 50 mm。

接触电阻的测定基于传输长度方法,测量细栅与相邻细栅的 电阻,然后将拟合曲线外推至零。接触电阻头拥有 6 对探 头,每对探头接触相邻的触点细栅。为了匹配不同的细栅距 离,可使用探头距离各不相同的标准探头,使探头覆盖 1.5 至 2.8 mm 之间的整个细栅距离。

4-TEST 拥有一个 19” 机柜,包括一台工业 PC 和各种 电子检测装置以及一个由玻璃板材和玻璃罩制成的独立样品 台。吉时利公司生产的高质量电子检测装置被用于测量电流 源和电压,并在接触电阻模式中切换成对的探头。操作简便 的控制软件集多种功能于一体,可进行数据分析、生产控制 以及数据记录和导出,并拥有基本的 MES 界面。可利用损 失分析软件将 4-TEST 与 SR-TEST 结合起来。这将使产业 用户能够快速地访问用于优化生产过程的大部分电池数据。