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现状

扩散之后(标准或单面),电池背面通常会出现一个衍生的 发射极,与边缘的前沿相连。无衍生发射极的电池接触会导 致较低的并联电阻值,通常会造成完全短路的电池。

为实现边缘绝缘,在扩散之后可进行电浆蚀刻与湿法蚀刻。

作为替代方案,可通过精加工,即在电池周围切割激光槽, 对电池正面和背面进行绝缘。

设计的 ISO-TEST 旨在直接测试边缘绝缘,在湿法 化学或以电浆为基础的工艺之后进行测试,以提高隔离过程 的稳定性和工艺良品率。

描述

ISO-TEST .Wafer 是一种可靠的接触工具,用于检测硅片 边缘绝缘电阻。该工具的特点在于拥有两个装有水平金属触 点的塑料板,用于直接监测扩散之后的绝缘电阻,顶部触点 集成至摆动闭合盖。该设备集电子检测装置、控制按钮和图 形显示器为一体。所有的功能可配置在设置向导模式中。

为说明特性,将硅片置于 ISO-TEST 内。硅片的位置由机械 定位杆确定。闭合盖子后,触点探头与硅片表面相接触,测 量随即自动开始。将恒定电流施加至探针,测量并单独显示 并行相连的四个边缘的绝缘电阻。通过为测量值设置限定, 基于这些限定值的样品分类可通过彩色 LED 和声频信号进 行显示。

工具的所有功能均可由 PC 控制,通过开放的协议在 RS232 界面进行。