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狀況

採用 >KOH IPA 標準鹼制絨製程的窄小製程窗口通常會導致絨面品質不佳並且難以控制。

GP ALKA-TEX .+2 是改善絨面品質及擴大製程窗口的有效解決方案。

優點

  • 提高金字塔結構的一致性
  • 提高製程穩定性及再現性
  • 提高槽使用壽命及通量
  • 降低標準化學材料的消耗量
  • 可直接調整金字塔大小
  • 縮短製程時間
  • 提高單配方的晶圓品質
  • 提高電池效率 ( 0.3%)
  • 對環境無害