GP 4-TEST Pro
Messsystem zur Bestimmung des Schichtwiderstands, des spezifischen Widerstands, sowie des Kontakt- und Linienwiderstands an Wafern und Solarzellen
Übersicht

Situation

Mit einer In- und Offline Prozesskontrolle kann man auftretende Probleme schnell identifizieren und beseitigen. Der GP 4-TEST Pro ist ein Laborinstrument, das vielseitige Anwendungen in sich vereint. Es misst präzise den Schichtwiderstand des Emitters, sowie den Linien- und Kontaktwiderstand der Finger. Damit ist der GP 4-TEST Pro ein zuverlässiges Instrument, um den Diffusions-, den Siebdruck- und den Feuerprozess zu überwachen. Da er außerdem den spezifischen Widerstand bestimmt, kann er so das Ausgangsmaterial klassifizieren.

Prinzip

  • 4-Punkt-Messsystem
  • Messspitzen verfügbar aus Wolframkarbid oder mit Rhodium-Beschichtung
  • Transfer-Length-Methode (TLM) zur Ermittlung des Kontaktwiderstands

Vorteile

  • Führt alle Arten von Widerstandmessungen durch
  • Hochwertige Messspitzen für jede Anwendung
  • Keithley-Instrumente für die Messelektronik
  • Umfangreiche Auswertungsmöglichkeiten durch die benutzerfreundliche Software
  • MES-Schnittstelle für erweiterte Anwendungen

Technische Daten

Thema

Beschreibung

Messproben

- Mono- und multikristalline Wafer

- Quadratisch und Pseudo-quadratisch

- Texturierte und nicht texturierte Oberflächen

Wafergröße

100 … 210 mm

Gesamtzykluszeit

ca. 10 sec

Systemlayout

Messprobenhalter, Messelektronik und Kontroll-PC integriert in ein transportables 19” Ablagegestell.
Industrielle Tastatur mit integriertem Trackball, 17” TFT

Hinweis: Alle technischen Details können sich ohne Vorankündigung ändern. Nur die technischen Spezifikationen im Angebot sind verbindlich.

Download

  1. Produktdatenblatt 301_GP-4-TEST-Pro_10v1.pd… (343 KB)