Situation
Die genaue Prozesskenntnis trägt wesentlich dazu bei Fehlerursachen in der Produktion zu erkennen und langfristig zu minimieren. Die Bestimmung von Höhenprofilen auf Zellen und Wafern oder anderen Proben wie Drucksieben liefert wertvolle Informationen über die Beschaffenheit der vermessenen Objekte wie Finger, Busbars, Gräben, Stufen oder Riefen. Der GP TOPO-TEST erlaubt die präzise Bestimmung von Höhe, Breite und Abstand der gescannten Objekte im Höhenprofil. So werden Probleme in den Druck- und Säge- bzw. Laserprozessen frühzeitig erkannt und können kontinuierlich optimiert werden.
Prinzip
- Optisches Scansystem (chromatischer Sensor)
- Scanrate bis zu 4kHz ermöglicht schnelle Linienscans
Vorteile
- Präzise Messungen werden durch großen und robusten Messtisch gewährleistet
- Mehrere Linien und Diagonalen können automatisch gescannt werden
Technische Daten
Thema |
Beschreibung |
Systembeschreibung |
Zweiachsiger Verfahrtisch mit vertikal montiertem Sensor |
Sensortyp |
Chromatischer Sensor |
Messproben |
- Wafer auf jeder Prozessebene - Solarzellen auf jeder Prozessebene - Drucksiebe |
Höhenauflösung (z-Richtung) |
± 0,01 µm |
Messfleckgröße |
5 µm |
Scanbetriebsarten |
- Linescan - Multi-Line-Scan - Spezielle Testmethode für die Druckgitter und Drucksiebe |
Scanweite |
170 mm |
Laterale Positions-genauigkeit |
± 0,1 µm |
Scangeschwindigkeit |
Bis zu 20 mm/s (200 Punkte pro mm) |
Optionale Setups |
XL Variante für die Drucksiebmessung |
Hinweis: Alle technischen Details können sich ohne Vorankündigung ändern. Nur die technischen Spezifikationen im Angebot sind verbindlich.