WAF SCANNING SYSTEM
WT2000 Messsystem zum Scannen der Lebensdauer, LBIC, Reflektion, des spezifischen Widerstands und des Schichtwiderstands auf Wafern und Zellen
Übersicht

Situation

Für eine schnelle Klassifizierung von Solarzellen in verschiedene Leistungs- und Qualitätsklassen ist oft die Messung eines bestimmten Wertes ausreichend. Um die Ursache eines konkreten Problems zu definieren, helfen detaillierte Informationen über das Verhalten eines gemessenen Parameters. Das WAF SCAN System misst gewissenhaft und präzise die Überschuss-ladungsträgerlebensdauer, den Emitterschichtwiderstand und die Diffusionslänge der Ladungsträger in Solarzellen. So lassen sich Erkenntnisse gewinnen, die dabei helfen, den Gesamtprozess zuverlässig zu überwachen.

Prinzip

  • Gehäuse mit beweglicher Messplatte und beweglichem Sensorkopf
  • Basiseinheit mit Scan- und Anpassungsmöglichkeiten mit Systemcontroller

Vorteil

  • Scansystem für die manuelle Waferbeladung bis 156 mm Wafer

Technische Daten

Thema

Beschreibung

Messproben

- Mono- und multikristalline Wafer

- Bis zu 210 mm Kantenlänge

Lebenszeit: jede Art von Silizium – die Auswertung der
Ergebnisse hängt von der Probenvorbereitung ab

LBIC: fertige Solarzellen
Rsheet: diffundierte Siliziumwafer
Rspec: undiffundierte Siliziumwafer

Messbereich und Genauigkeit

Räumliche Auflösung (Abbildung)

0.5 mm, 1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 16 mm

Messzeit

Einzelner Punkt ~ 0.3…1.0 Sekunden,

Ganze Abbildung 2 Minuten bis zu 24 Stunden (abhängig von
der Auflösung, der Genauigkeit und dem Messmodus)

Messmodi und Messbereiche

Lebensdauer

Mikrowellendetektierter Leitfähigkeitszerfall (MW-PCD), Laser mit 904 nm Wellenlänge (Pulsbreite 200 ns), Messfrequenz 10 GHz

Messbereich

0.1 µs – 30 ms

LBIC

Spektrale Light-Beam induced current (LBIC) Messung bei Wellenlängen von ca. 400 nm/650 nm, 880, 950, 980 nm, parallele Messung der Reflexion je Wellenlänge

Bestimmung der Diffusionslänge aus inverser IQE

Rspec

Messung mittels Wirbelstromsensor

Messbereich 0.1…25 Ωcm bzw. 0.1 … 12 Ωcm (für eine Dicke <200 µm)

Rsheet

Messung mittels Surface Photovoltage sensor

Messbereich 10…200 Ohms/sqr

Hinweis: Alle technischen Details können sich ohne Vorankündigung ändern. Nur die technischen Spezifikationen im Angebot sind verbindlich.

Download

  1. Produktdatenblatt 306_WAF SCANNING SYSTEM_0… (488 KB)