Situation
Aus den besten Wafern lassen sich die besten Solarzellen herstellen. Der
GP WAF-Q .Cam ist ein innovatives Inspektionssystem, das zuverlässig visuelle Defekte auf as-cut Wafern findet, ganz gleich ob Oberflächenkontaminationen, Kantenausbrüche, V-Ausbrüche, Chipping oder geometrische Fehler. Anschließend klassiert der GP WAF-Q die Wafer entsprechend ihrer geometrischen und optischen Eigenschaften in verschiedene Qualitätsklassen.
Prinzip
- Optisches Messverfahren
- Stop-Messung
Vorteile
- Findet verlässlich und reproduzierbar Defekte auf as-cut Wafern
- Schnelle Rückmeldung
- Zentrales Rezeptmanagement und „Copy exact“-Verfahren
- Einfache uns schnelle Kalibriermöglichkeit
- Permanente Kalibrierkontrolle
Technische Daten
Thema |
Beschreibung |
Messproben |
- As-cut mono- und multikristalline Wafer - Quadratisch oder Pseudoquadratisch |
Wafergröße |
100 … 156 mm |
Kameramodell |
4M Matrix |
Fehlerauflösung |
80 µm / 60 µm |
Messfunktionen |
Kantenlänge, Diagonalenlänge, Rechtwinkligkeit, Phasenlänge und -winkel, Chipping, Kanten Ausbrüche in Länge und Tiefe, V-Ausbrüche, Oberflächendefekte |
Stillstandzeit |
25 ms / 25 ms |
Minimale Zykluszeit |
1 s |
Maschinenanschluss |
- Parallel I/O - Parallel I/O (kombiniert mit RS232 für WaferID) - Profibus |
Datenschnittstelle (zum Firmennetzwerk oder zur Automatisierung) |
XML via TCP/IP |
Hinweis: Alle technischen Details können sich ohne Vorankündigung ändern. Nur die technischen Spezifikationen im Angebot sind verbindlich.