Situation
Aus den besten Wafern lassen sich die besten Solarzellen herstellen. Der
GP WAF-Q .Cam ist ein innovatives Inspektionssystem, das zuverlässig visuelle Defekte auf as-cut Wafern findet, ganz gleich ob Oberflächenkontaminationen, Kantenausbrüche, V-Ausbrüche, Chipping oder geometrische Fehler. Anschließend klassiert der GP WAF-Q die Wafer entsprechend ihrer geometrischen und optischen Eigenschaften in verschiedene Qualitätsklassen.
Prinzip
- Optisches Messverfahren
- Stop-Messung
Vorteile
- Findet verlässlich und reproduzierbar Defekte auf as-cut Wafern
- Schnelle Rückmeldung
- Zentrales Rezeptmanagement und „Copy exact“-Verfahren
- Einfache und schnelle Kalibriermöglichkeit
- Permanente Kalibrierkontrolle
Technische Daten
Thema |
Beschreibung |
Messproben |
- As-cut mono- und multikristalline Wafer - Quadratisch oder Pseudoquadratisch |
Wafergröße |
100 … 156 mm |
Kameramodell |
4M Matrix |
Fehlerauflösung |
80 µm / 60 µm |
Messfunktionen |
Kantenlänge, Diagonalenlänge, Rechtwinkligkeit, Phasenlänge und -winkel, Chipping, Kanten Ausbrüche in Länge und Tiefe, V-Ausbrüche, Oberflächendefekte |
Stillstandzeit |
25 ms / 25 ms |
Minimale Zykluszeit |
1 s |
Maschinenanschluss |
- Parallel I/O - Parallel I/O (kombiniert mit RS232 für WaferID) - Profibus |
Datenschnittstelle (zum Firmennetzwerk oder zur Automatisierung) |
XML via TCP/IP |
Hinweis: Alle technischen Details können sich ohne Vorankündigung ändern. Nur die technischen Spezifikationen im Angebot sind verbindlich.
Bedienoberfläche
Der GP WAF-Q .Cam ermöglicht eine zuverlässige Detektion aller visuellen Defekte mit starker Reduktion der Kristallstrukturen. Das GP Solar Inspect Software Suite bietet eine flexible und defektgenaue Klassierung, die es ermöglicht, Inspektionskriterien einfach auf das System zu übertragen.
