Situation

Aus den besten Wafern lassen sich die besten Solarzellen herstellen. Der
GP WAF-Q .Cam ist ein innovatives Inspektionssystem, das zuverlässig visuelle Defekte auf as-cut Wafern findet, ganz gleich ob Oberflächenkontaminationen, Kantenausbrüche, V-Ausbrüche, Chipping oder geometrische Fehler. Anschließend klassiert der GP WAF-Q die Wafer entsprechend ihrer geometrischen und optischen Eigenschaften in verschiedene Qualitätsklassen.

Prinzip

  • Optisches Messverfahren
  • Stop-Messung

Vorteile

  • Findet verlässlich und reproduzierbar Defekte auf as-cut Wafern
  • Schnelle Rückmeldung
  • Zentrales Rezeptmanagement und „Copy exact“-Verfahren
  • Einfache uns schnelle Kalibriermöglichkeit
  • Permanente Kalibrierkontrolle

Technische Daten

Thema

Beschreibung

Messproben

- As-cut mono- und multikristalline Wafer

- Quadratisch oder Pseudoquadratisch

Wafergröße

100 … 156 mm

Kameramodell

4M Matrix
optional 11M Matrix

Fehlerauflösung

80 µm / 60 µm

Messfunktionen

Kantenlänge, Diagonalenlänge, Rechtwinkligkeit, Phasenlänge und -winkel, Chipping, Kanten Ausbrüche in Länge und Tiefe, V-Ausbrüche, Oberflächendefekte

Stillstandzeit

25 ms / 25 ms

Minimale Zykluszeit

1 s

Maschinenanschluss
(zur Automatisierung)

- Parallel I/O

- Parallel I/O (kombiniert mit RS232 für WaferID)

- Profibus

Datenschnittstelle (zum Firmennetzwerk oder zur Automatisierung)

XML via TCP/IP

Hinweis: Alle technischen Details können sich ohne Vorankündigung ändern. Nur die technischen Spezifikationen im Angebot sind verbindlich.

Download

  1. Produktdatenblatt 220_INSPECT_WAF-Q_09v2.pd… (559 KB)