WAFERINSPEKTION
Integrierte Inspektionssysteme für frühzeitiges Erkennen von Wafer-Defekten aller Art
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GP WAF-Q .CamOptisches Inline Inspektionssystem für As-cut Wafer

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GP NANO-D .ScanOptisches Inline Inspektionssystem zum Erkennen von Microcracks

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GP TOPO-D .ScanVollflächige Messung der Topographie zur Erkennung von 3D Defekten

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WAF INSP TTVWMT/WLT Inline Messsystem für Zelldicke, TTV, spezifischen Widerstand und Bow

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IN-LIFEWML/WLL Inline Messsystem zur Bestimmung der Zell-Lebensdauer











































































